空氣過濾器分級誕生：隨著微電子工業(yè)的發(fā)展,對空氣過濾器特別是高效過濾器的要求越來越嚴,德國標準DIN24183率先提出"最容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size,簡稱MPPS)法,并采用最容易穿透粒徑來檢測空氣過濾器的效率.其實不同的濾料和不同的濾速最容易穿透粒徑是不同的,一般在0.11um-0.25um范圍內.然后以此粒徑測試其效率或用于掃描實驗。

MPPS是目前最嚴格的試驗標準,具體測試一般采用DOP方法. DOP(鄰苯二甲二辛酯)法:實驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴,測量粉塵儀器為光度計,以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率.目前逐步采用大流量激光粒子計數器或凝結核計數器對過濾器整個出風面進行掃描檢驗。